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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章OLED用顯微鏡

OLED用顯微鏡

更新時(shí)間:2021-01-13點(diǎn)擊次數(shù):2599

 產(chǎn)品名稱:OLED用顯微鏡
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:OLED用顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLE后測(cè)量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測(cè)著重于度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結(jié)構(gòu),減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動(dòng)問題,可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問題。系統(tǒng)采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現(xiàn)跨距量測(cè)。光學(xué)系統(tǒng)采用熒光顯微鏡光路實(shí)現(xiàn)對(duì)OLED的激發(fā)。人性化計(jì)算機(jī)量測(cè)模式,有效提高觀察定位效率。專為使用者設(shè)計(jì)機(jī)型,使操作更便利、測(cè)量更迅速。

產(chǎn)品特點(diǎn):

手動(dòng)量測(cè)系統(tǒng)XY采用精密無牙螺桿傳動(dòng),減少齒輪傳動(dòng)偏移誤差
線性馬達(dá)/伺服馬達(dá)用于自動(dòng)化量測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
系統(tǒng)采用被動(dòng)式or主動(dòng)式減震系統(tǒng),能克服環(huán)境震動(dòng)問題,可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問題
系統(tǒng)使用 熒光顯微光路,有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
系統(tǒng)使用人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念設(shè)計(jì),符合友好化測(cè)量
設(shè)備應(yīng)用:

設(shè)備主要應(yīng)用OLED的顯微分析和蒸鍍測(cè)量上

量測(cè)工具

點(diǎn),線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項(xiàng)不規(guī)則外型取樣

形位公差

真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項(xiàng)形位公差設(shè)置

UV功能驗(yàn)證

UV光源下圖像清晰

斷面測(cè)量

按照PO spec要求進(jìn)行測(cè)試并保存結(jié)果

自動(dòng)計(jì)算offset

根據(jù)蒸鍍有機(jī)材料的位置與設(shè)定的蒸鍍位置對(duì)比,計(jì)算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對(duì)比,計(jì)算offset

UV光和鹵素光自動(dòng)切換

在軟件中點(diǎn)擊切換按鈕后,可以自動(dòng)切換光源并呈現(xiàn)相應(yīng)的圖像

SPC

軟件須附帶SPC功能,量測(cè)之?dāng)?shù)據(jù)須能自動(dòng)導(dǎo)出作分析

報(bào)表輸出

軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

 

 

7.3.2 設(shè)備配置&特征

7.3.2System Configuration& Characteristic

 

 

外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm
External Size: L*W*H≤2500*2500*2000mm

 

*測(cè)量行程:X*Y≥750*650mm

Z≤100mm

 

重量:≤5000kg

 

承重:≥10kg

Capacity: ≥10kg

 

*高測(cè)量度:XYZ≤1μm

*Maximum Accuracy: XYZ≤1μm

 

*機(jī)臺(tái)重復(fù)性:≤1μm

*Machine Repeatability:≤1μm

 

XYZ小移動(dòng)距離:XYZ≤1um

XYZ minimum move distance: XYZ≤1um

 

XYZ移動(dòng)精度: XYZ≤1um

XYZ move precision: XYZ≤1um

 

*XYZ軸移動(dòng)速度: XYZ≤200mm/s
*XYZ Speed: XY≤200mm/s

 

7.3.3機(jī)械本體

7.3.3 Mechanics

  
 

 

*光學(xué)放大倍率:5X/10X/20X/50X/100X

 

光源特征:光源可以采用鹵素?zé)簟⒐療簦瑝勖鼭M足SPEC要求

 

7.3.5電控系統(tǒng)、

7.3.5 Control System

電機(jī):直流伺服電機(jī)

Dynamo:DC servo motor

 

操作類型:鼠標(biāo)和操作手柄,按鍵

Control Type: Mouse and Joystick

 

7.3.6軟件系統(tǒng)

7.3.6 Software System

功能:點(diǎn),直線,圓,弧,橢圓,槽等測(cè)量功能,帶有線追蹤功能,粒子計(jì)數(shù),軟件定位系統(tǒng),軟件控制光源亮度,軟件控制電動(dòng)鼻輪,軟件控制孔徑光闌

 

圖像:可復(fù)制,可進(jìn)行大面積圖形無縫拼接

Image: can copy

 

*數(shù)據(jù)格式:JPG/Excel

*Data format: JPG/Excel

 

7.3.7 其它

7.3.7 Others

*防微振裝置:達(dá)到VC-B級(jí)別的防震平臺(tái)

*Anti-vibration device: Yes

 

*靜電防護(hù):離子風(fēng)棒

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